Description: Niniejsza książka przedstawia projekt, analizę i syntezę czujnika tlenku węgla na bazie krzemu z wykorzystaniem technologii MEMS. Nacisk polożono na badanie wplywu temperatury mikroplytki na zmiany mocy, ponieważ analit jest wrażliwy na określony gaz w wysokiej temperaturze. Ogólnym podejściem zastosowanym w tej pracy jest zbadanie możliwości wykorzystania mikroplytki do wykrywania gazu. W celu ukończenia projektu czujnika, analiza jest istotną częścią, ponieważ pokazuje rozklad temperatury w mikroplytce. Realizując cel książki, zaprojektowano i zasymulowano krzemowy czujnik tlenku węgla do wykrywania substancji chemicznych. Folia czujnikowa stosowana do wykrywania tlenku węgla to folia z tlenku cyny. Jest ona szeroko stosowana w czujnikach gazu, ponieważ jest wrażliwa na określony gaz w wysokich temperaturach. Aby osiągnąc tak wysoką temperaturę pracy, opracowano mikrostrukturę zwaną mikro-plytką.
