Description: Questo libro riporta la progettazione, l'analisi e la sintesi di un sensore di gas di monossido di carbonio a base di silicio utilizzando la tecnologia MEMS. L'enfasi è posta sull'analisi della temperatura della micropiastra e sulla variazione della potenza, poiché l'analita è sensibile al gas specifico ad alta temperatura. L'approccio generale perseguito in questo lavoro è quello di esplorare la possibilità di utilizzare micropiastre per il rilevamento del gas. Per il completamento del progetto del sensore, l'analisi è la parte vitale in quanto mostra la distribuzione della temperatura nella micropiastra. Per realizzare l'obiettivo del libro è stato progettato e simulato un sensore di gas di monossido di carbonio a base di silicio per il rilevamento chimico. Il film di rilevamento utilizzato per la rilevazione del monossido di carbonio è un film di ossido di stagno. È ampiamente utilizzato nelle applicazioni dei sensori di gas in quanto è sensibile a gas specifici ad alte temperature. Per raggiungere questa temperatura operativa elevata, è stata sviluppata una microstruttura chiamata micropiastra calda.
